据韩国产业通商资源部官网新闻稿,日本JSR公司于11月12日在韩国忠清北道清州举行MOR(金属氧化物)光刻胶生产基地的奠基仪式。该生产基地由JSR在韩子公司JSR Micro Korea建设,预计将于2026年建成投产。这将是韩国境内首个同类光刻胶工厂。
适用于EUV制程的MOR光刻胶能够替代低端化学放大光刻胶,在确保超精细工艺的竞争力方面发挥着关键作用。JSR Micro Korea的新工厂有望直接向韩国本土两大半导体制造巨头三星电子、SK海力士供货,以保证光刻胶供应的稳定可靠性。
JSR公司在今年8月30日的新闻稿中还提到,该公司计划在今年秋季起在日本关东地区建设一个新的MOR研发基地,作为日本三重县四日市现有精密电子开发中心的补充,以强化与全球客户和伙伴的交流合作。
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